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褚世敢
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北京大学
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合作作者
张海霞
北京大学
张晓升
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朱福运
北京大学
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朱福运
供职机构:北京大学
研究主题:高深宽比 反应离子刻蚀 发电机 纳米阵列 复合结构
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供职机构
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张晓升
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 高深宽比 反应离子刻蚀 纳米阵列 摩擦式
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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