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郭辉

作品数：14 被引量：22H指数：3
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信天文地球自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

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领域

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地区

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李志宏
供职机构：北京大学
研究主题：电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王煜
供职机构：北京大学
研究主题：应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程承旗
供职机构：北京大学
研究主题：剖分 网格 GIS 遥感影像 网格编码
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李素兰
供职机构：北京大学
研究主题：残余应力 SIC薄膜 压强 反应离子刻蚀 功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈晟
供职机构：北京大学
研究主题：反应离子刻蚀 功率 氢含量 压强 PECVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
边伟
供职机构：北京大学
研究主题：场效应器件 背栅 多晶硅栅 金属诱导 纳米集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
迟占福
供职机构：北京大学
研究主题：一体化 EMD 遥感 编目 空间信息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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