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陈莉芝
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6
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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合作作者
邹世昌
中国科学院上海冶金研究所上海微...
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
多新中
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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黄继颇
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:ALN薄膜 氮化铝 离子注入 碳化硅 半导体
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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多新中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
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倪如山
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 SOI 纳米孔 离子注入 吸杂
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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许学敏
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:X射线双晶衍射 SOM 非晶硅 激光再结晶 激光
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王向晖
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:血液相容性 离子束增强沉积 氧化钛薄膜 离子注入 人工心脏瓣膜
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