2025年1月31日
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佐藤一雄
作品数:
3
被引量:12
H指数:2
供职机构:
名古屋大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
电子电信
机械工程
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合作作者
李雪萍
上海交通大学微纳科学技术研究院
式田光宏
名古屋大学
丁桂甫
上海交通大学微纳科学技术研究院
安藤妙子
名古屋大学
袁明权
中国工程物理研究院电子工程研究...
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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式田光宏
供职机构:名古屋大学
研究主题:微机电系统 机械性能 坡莫合金 MEMS薄膜 力学性能
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安藤妙子
供职机构:名古屋大学
研究主题:微机电系统 MEMS薄膜 力学性能 机械性能 坡莫合金
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供职机构
所获资助
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李雪萍
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 微拉伸 力学传感器 塑性变形 MEMS
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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供职机构
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陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
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袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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