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张卫青

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刘海韵
供职机构：东南大学
研究主题：多晶硅 残余应力 绝缘衬底 热膨胀系数 偏转
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李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋明霞
供职机构：东南大学
研究主题：衬底 多晶硅 残余应力 偏转 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周再发
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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