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钱旭
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6
被引量:2
H指数:1
供职机构:
南京大学
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电子电信
一般工业技术
电气工程
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合作作者
李爱东
南京大学
吴迪
南京大学
龚佑品
南京大学
闵乃本
南京大学
曹燕强
南京大学
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吴迪
供职机构:南京大学
研究主题:铁电薄膜 介质薄膜 SUB 衬底 微电子工艺
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李爱东
供职机构:南京大学
研究主题:原子层沉积 介质薄膜 铁电薄膜 SUB 衬底
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闵乃本
供职机构:南京大学物理学院固体微结构物理国家重点实验室
研究主题:光学超晶格 超晶格 铁电薄膜 长程 胶体晶体
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供职机构
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龚佑品
供职机构:南京大学
研究主题:介质薄膜 电学性能 氧化铪 SUB 栅介质薄膜
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供职机构
所获资助
研究领域
曹燕强
供职机构:南京大学
研究主题:原子层沉积 ALD 介质薄膜 无机-有机 MOS器件
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