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刘杨

作品数：247 被引量：268H指数：9
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陈兴林
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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陈震宇
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
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崔宁
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：绝对式 译码电路 光电测量 光电码盘 码盘
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王伟峰
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：质心 光刻机 物理仿真 调平 三轴气浮台
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董岳
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：被控对象 超精密 长焦 光顺 光刻机
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付振宪
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：气浮台 惯导平台 物理仿真 三轴气浮台 质心
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李理
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：超精密 逆模型 被控对象 迭代学习 光刻机
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谭久彬
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：隔振器 精密测量仪器 隔振技术 转子 精密测量技术
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李欣
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 处理污水 气浮 伺服机构 三轴气浮台
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李宗哲
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 气浮 垂向 伺服机构 三轴气浮台
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