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姚汉民

作品数:175 被引量:244H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 88个电子电信
  • 67个机械工程
  • 62个自动化与计算...
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  • 5个核科学技术
  • 5个自然科学总论
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主题

  • 77个光刻
  • 59个激光
  • 54个光学
  • 52个掩模
  • 51个衍射
  • 48个投影光刻
  • 46个光刻机
  • 44个计算机
  • 42个图像
  • 40个透镜
  • 39个光刻技术
  • 39个光束
  • 39个光栅
  • 38个纳米
  • 36个物镜
  • 31个微米
  • 30个电路
  • 30个照明
  • 29个等离子体
  • 29个纳米光刻

机构

  • 100个中国科学院
  • 11个中国科学院研...
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  • 4个四川大学
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  • 1个安徽师范大学
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  • 1个宁波大学
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  • 1个南京理工大学
  • 1个四川师范学院
  • 1个西北工业大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个兰州交通大学
  • 1个天津大学
  • 1个四川农业大学
  • 1个西安工业学院

资助

  • 52个国家自然科学...
  • 33个国家高技术研...
  • 27个中国科学院知...
  • 25个国家重点基础...
  • 24个国家重点实验...
  • 15个中国科学院知...
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  • 9个中国科学院西...
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传媒

  • 71个光电工程
  • 50个微细加工技术
  • 41个微纳电子技术
  • 35个光学学报
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  • 12个应用光学
  • 10个半导体光电

地区

  • 89个四川省
  • 3个北京市
  • 2个陕西省
  • 2个甘肃省
  • 1个安徽省
  • 1个辽宁省
  • 1个西藏
  • 1个浙江省
  • 1个重庆市
  • 1个广东省
102 条 记 录,以下是 1-10
陈旭南
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈献忠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 纳米结构制作 原子光刻 原子 激光驻波场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余国彬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 相机 投影光刻 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张晓玉
供职机构:兰州大学
研究主题:光子晶体 二维光子晶体 反应离子刻蚀 空气柱 微细加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石建平
供职机构:安徽师范大学
研究主题:原子束 光子晶体 光刻分辨力 金属薄膜 纳米结构制作
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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