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阮勇

作品数：117 被引量：76H指数：5
供职机构：清华大学更多>>
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尤政
供职机构：清华大学
研究主题：超级电容器 星敏感器 MEMS 微机电系统 磁强计
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张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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张高飞
供职机构：清华大学
研究主题：航天器 太阳敏感器 继电器 MEMS 敏感器
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李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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马波
供职机构：清华大学
研究主题：碱金属原子 继电器 膜结构 MEMS 测温
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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任天令
供职机构：清华大学
研究主题：铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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罗葵
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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王晓峰
供职机构：清华大学
研究主题：超级电容器 电化学电容器 超电容器 氧化钌 碳纳米管
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