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彭勃

作品数：55 被引量：69H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊壮
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 易加工 极板 振梁加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许蔚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁明权
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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