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秦威
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33
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
李勇滔
中国科学院微电子研究所
赵章琰
中国科学院微电子研究所
李英杰
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
孙小孟
昆明理工大学信息工程与自动化学...
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 SUB 硅衬底 射频电源 离子注入
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研究领域
赵章琰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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孙小孟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:真空规 阻抗匹配器 阻抗匹配 阻抗匹配网络 半导体制造技术
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魏东方
供职机构:济南钢铁股份有限公司
研究主题:DTU CDMA ARM9 WEB服务器 无线数据传输
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朱娟
供职机构:昆明理工大学信息工程与自动化学院
研究主题:ARM9 数据采集 DTU CDMA WEB服务器
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代显刚
供职机构:昆明理工大学
研究主题:ARM9 DTU CDMA WEB服务器 无线数据传输
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刘红霞
供职机构:昆明理工大学
研究主题:ARM9 数据采集 DTU CDMA WEB服务器
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所获资助
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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