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顾志光

作品数：24 被引量：36H指数：4
供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 44个电子电信
  • 28个理学
  • 20个一般工业技术
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  • 3个环境科学与工...
  • 2个轻工技术与工...
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主题

  • 27个退火
  • 26个半导体
  • 24个固相
  • 24个固相反应
  • 24个硅
  • 21个电路
  • 19个纳米
  • 19个集成电路
  • 17个快速退火
  • 17个SI
  • 13个热退火
  • 13个CO
  • 12个电子器件
  • 12个浅结
  • 12个离子束
  • 12个固相外延
  • 11个快速热退火
  • 10个氮化
  • 10个电池
  • 7个单晶

机构

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  • 1个华东理工大学
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  • 1个西安交通大学
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  • 1个上海市计量测...
  • 1个理化学研究所

资助

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  • 10个“上海－应用...
  • 10个国家教育部博...
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传媒

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  • 16个复旦学报（自...
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  • 5个化学学报
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  • 4个分析化学
  • 4个高等学校化学...

地区

  • 42个上海市
  • 1个湖北省
共 44 条 记 录，以下是 1-10
李炳宗
供职机构：复旦大学
研究主题：固相反应 硅化物 自对准 NISI SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪荣昌
供职机构：复旦大学材料科学系
研究主题：氮化铝 TIO_2薄膜 金属化工艺 氧敏传感器 二氧化钛
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戎瑞芬
供职机构：复旦大学材料科学系
研究主题：氮化铝 TIO_2薄膜 氧敏传感器 二氧化钛 MOCVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄维宁
供职机构：复旦大学
研究主题：铁电薄膜 铁电存储器 固相反应 铁电电容 MFIS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邵丙铣
供职机构：复旦大学
研究主题：低功耗 氮化铝 低电压 集成电路 金属化工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜国宝
供职机构：复旦大学
研究主题：铁电薄膜 铁电存储器 铁电电容 MFIS 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘平
供职机构：复旦大学附属华山医院PET中心
研究主题：双层膜 烷酸 回旋加速器 传质 心肌代谢
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江素华
供职机构：复旦大学
研究主题：硅纳米线 纳米电子器件 硅纳米管 混合粉末 纳米管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗祥福
供职机构：复旦大学
研究主题：锂离子电池 集成电路 聚合物电解质 SIMS 氮化铝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
亓文杰
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题：固相反应 快速退火 超薄 硅化铂 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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