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伊福廷

作品数：139 被引量：132H指数：6
供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
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张菊芳
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 X射线光刻
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刘静
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：氯化铯 硅表面 光刻胶 硅 套刻
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王波
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：光刻胶 氯化铯 套刻 硅 硅表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭良强
供职机构：中国科学院
研究主题：LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
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韩勇
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 掩模 微细加工 LIGA BSRF
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张天冲
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：光刻胶 氯化铯 套刻 硅 硅表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张新帅
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：光刻胶 氯化铯 离子束刻蚀 显影 微结构
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王雨婷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：硅 光刻胶 高宽比 氯化铯 衬底
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张冬仙
供职机构：浙江大学
研究主题：原子力显微镜 压电陶瓷 步进 AFM 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
晋明
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 夹钳 掩模 微细加工 聚甲基丙烯酸甲酯
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