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施伟杰
作品数:
24
被引量:62
H指数:4
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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国家高技术研究发展计划
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合作作者
王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究...
张冬青
中国科学院上海光学精密机械研究...
王帆
中国科学院上海光学精密机械研究...
马明英
中国科学院上海光学精密机械研究...
姚勇
哈尔滨工业大学深圳研究生院
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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张冬青
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 成像质量 像差 光学测量
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王帆
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
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马明英
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
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姚勇
供职机构:哈尔滨工业大学深圳研究生院
研究主题:空间频率 傅里叶光学 光通信 太赫兹时域光谱 太赫兹
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张铁强
供职机构:吉林大学
研究主题:量子点 钙钛矿 白光LED 大学物理 荧光粉
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贾辉
供职机构:哈尔滨工业大学深圳研究生院
研究主题:空间频率 物理光学 傅里叶光学 光谱仪 几何光学
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孟宪江
供职机构:沈阳理工大学
研究主题:神经网络 光谱 触发器 高功率脉冲 高压脉冲变压器
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何乐
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 工件台 不平度 测量系统 激光干涉仪
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李小平
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
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