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林强

作品数：5 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马月英
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 软X射线 软X射线多层膜 光学元件 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴舒
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 软X射线 均匀性 软X射线多层膜 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
向鹏
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：残余应力 多层膜 MO/SI多层膜 EUVL 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光电子技术 光电子产业 激光等离子体 微电子加工 信息显示
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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