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谭淞生
作品数:
17
被引量:19
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
上海市科学技术发展基金
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电子电信
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合作作者
王渭源
中国科学院上海冶金研究所上海微...
赵新安
中国科学院上海冶金研究所上海微...
解健芳
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王添平
中国科学院上海冶金研究所上海微...
张熙
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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赵新安
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微齿轮 齿轮 多晶硅 硅片 物理过程
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王添平
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 光学窗口 镍 反应离子刻蚀 静电马达
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解健芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
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张熙
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 物理过程 齿轮 微机械加工 微齿轮
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章熙康
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 物理学 超导薄膜 光学窗口
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金晓峰
供职机构:复旦大学物理学系
研究主题:MN 磁性 GAAS CO 分子束外延
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庄志诚
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 热解 RAMAN 光谱研究
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朱建生
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:氧含量 红外仪器 硅片 滤光片 直拉硅单晶
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李月珍
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:氧含量 红外仪器 硅片 滤光片 直拉硅单晶
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