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张保安

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
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共 9 条 记 录，以下是 1-9
沈德新
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：定子 热电堆 特性分析 微电机 压电超声马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢建国
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 金属 热电堆 热电偶 氮化硅膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董荣康
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟权
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：存贮器 磁滞回线 磁泡存贮器 磁光 测试仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈德芳
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：磁光 磁光记录 X 磁光薄膜 合金薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周伟宇
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁滞回线 磁光 测试仪 光存储器 角速度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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