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罗正全

作品数:45 被引量:39H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国科学院西部之光基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术生物学医药卫生更多>>

领域

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主题

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  • 14个电子束曝光机
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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 43个四川省
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  • 1个西藏
  • 1个广东省
46 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王肇志
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构:华南理工大学
研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐文祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 投影光刻机 掩模 光束 动镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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