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苏伟

作品数：82 被引量：22H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金住房和城乡建设部科学技术计划项目中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 刻蚀 加速度计 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 微加速度计 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊壮
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 惯性开关 易加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许蔚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 加速度计 微加速度计 易加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 加速度计 微机械陀螺 微开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙远程
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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