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刘哲

作品数:38 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院物理研究所更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 13个电子电信
  • 10个一般工业技术
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  • 5个电气工程
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主题

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  • 11个光刻胶
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  • 10个离子束
  • 10个金属
  • 9个等离子体
  • 9个掩模
  • 9个阵列
  • 9个微纳米结构
  • 9个牺牲层
  • 9个金刚石
  • 8个等离子体刻蚀
  • 8个掩膜
  • 8个阵列结构
  • 8个离子
  • 8个离子束刻蚀
  • 5个带隙
  • 5个氮化

机构

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  • 3个国家纳米科学...
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  • 1个华中师范大学
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  • 1个中国海洋大学
  • 1个中国科学院研...

资助

  • 10个国家自然科学...
  • 8个国家重点基础...
  • 5个中国科学院知...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个全球变化研究...
  • 2个中国科学院王...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个中国科学院“...
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传媒

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  • 5个物理
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  • 2个光子学报
  • 2个高压物理学报
  • 2个功能材料

地区

  • 14个北京市
  • 1个天津市
15 条 记 录,以下是 1-10
顾长志
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊杰
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 石墨烯 定影 金刚石 抗蚀剂
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杨海方
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:定影 反应离子刻蚀 石墨烯 金属 电子束曝光
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夏晓翔
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金属 掩膜 金属结构 阵列结构 衬底材料
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李无瑕
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 自支撑 纳米 离子束 电极接触
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崔阿娟
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 离子束辐照 基底 绝缘 图案
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尹红星
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:光刻胶 干法刻蚀 光提取效率 金属 紫外光刻
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
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唐成春
供职机构:河北工业大学
研究主题:氮化硼 六方氮化硼 纳米纤维 纳米片 荧光粉
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杜硕
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:成像器件 轨道角动量 工作波长 几何相位 多焦点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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