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张茜梅

作品数：26 被引量：46H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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地区

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袁明权
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武蕊
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙远程
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈明山
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 微纳加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王海青
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘娟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王亚军
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：折叠波导 折叠波导行波管 太赫兹 行波管 折叠波导慢波结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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