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雷震霖

作品数：38 被引量：80H指数：3
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王光玉
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题：真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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于卓
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：UHV/CVD SI Y 硅 SIGE/SI
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王启明
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅基 锗 硅 半导体材料 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余金中
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
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成步文
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅基 锗 光电探测器 探测器 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李代宗
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SIGE/SI UHV/CVD Y SI 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘在行
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题：真空泵 轴承腔 涡旋真空泵 轴封 转子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆涛
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪克超
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王刚
供职机构：中国科学院
研究主题：日化 平均聚合度 壳聚糖季铵盐 菊糖 海洋化工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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