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耿锋
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上海市计量测试技术研究院
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合作作者
吴俊杰
上海市计量测试技术研究院
傅云霞
上海市计量测试技术研究院
李源
上海市计量测试技术研究院
蔡潇雨
上海市计量测试技术研究院
雷李华
上海市计量测试技术研究院
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傅云霞
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:激光跟踪仪 光栅 纳米 测头 校准
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吴俊杰
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
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李源
供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题:纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
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蔡潇雨
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:白光干涉 原子力显微镜 纳米 MES 微球
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雷李华
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:光栅 纳米 校准 薄膜厚度 校准装置
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吴佳欢
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:电磁兼容 同轴线 校准装置 电磁兼容试验 标准物质
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简黎
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:测量系统 白光干涉 纳米测量机 称重传感器 比较式
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