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王熙

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：电子科技大学机械电子工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 3个经济管理
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主题

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机构

  • 3个清华大学
  • 1个电子科技大学
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  • 1个中国矿业大学

资助

  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个国家科技重大...
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  • 1个国家科技支撑...
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传媒

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  • 3个电工技术学报
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  • 1个机电一体化
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地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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