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李鑫

作品数:123 被引量:88H指数:6
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划北京市自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信文化科学电气工程更多>>

文献类型

  • 90篇专利
  • 18篇期刊文章
  • 10篇学位论文
  • 3篇会议论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 17篇自动化与计算...
  • 11篇电子电信
  • 9篇文化科学
  • 8篇电气工程
  • 4篇理学
  • 3篇经济管理
  • 3篇机械工程
  • 2篇化学工程
  • 2篇环境科学与工...
  • 2篇核科学技术
  • 1篇天文地球
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 28篇电机
  • 12篇平面电机
  • 11篇音圈电机
  • 11篇工件台
  • 10篇传感
  • 9篇直线电机
  • 9篇晶圆
  • 8篇叠层
  • 8篇定位装置
  • 8篇六自由度
  • 8篇光刻
  • 8篇光刻机
  • 8篇感器
  • 8篇传感器
  • 7篇电池
  • 7篇前馈
  • 6篇弹簧
  • 6篇深度处理
  • 6篇无接触
  • 6篇无接触式

机构

  • 123篇清华大学
  • 2篇北京工业大学
  • 2篇北京理工大学
  • 2篇北京华卓精科...
  • 1篇北京联合大学
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国矿业大学
  • 1篇沈阳大学
  • 1篇乐山师范学院
  • 1篇北京动力机械...

作者

  • 123篇李鑫
  • 78篇朱煜
  • 64篇张鸣
  • 62篇杨开明
  • 40篇成荣
  • 33篇胡金春
  • 33篇尹文生
  • 33篇穆海华
  • 29篇徐登峰
  • 25篇余东东
  • 18篇汪劲松
  • 18篇王磊杰
  • 17篇崔乐卿
  • 10篇刘涛
  • 10篇鲁森
  • 9篇林红
  • 9篇李建保
  • 8篇叶伟楠
  • 7篇胡洪营
  • 6篇宋玉晶

传媒

  • 5篇中国电机工程...
  • 2篇电工技术学报
  • 1篇电机与控制学...
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇压力容器
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇环境科学
  • 1篇机械强度
  • 1篇科学学与科学...
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇系统仿真学报
  • 1篇计算机工程与...
  • 1篇航空发动机
  • 1篇2008年中...

年份

  • 3篇2024
  • 6篇2023
  • 7篇2022
  • 12篇2021
  • 11篇2020
  • 8篇2019
  • 5篇2018
  • 4篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 12篇2014
  • 4篇2013
  • 21篇2012
  • 6篇2011
  • 3篇2010
  • 5篇2009
  • 6篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇2005
  • 1篇2003
123 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种电动式磁悬浮双框架动量球装置
本发明公开了一种电动式磁悬浮双框架动量球装置,用于航天器姿态控制系统执行机构。由电动式磁悬浮驱动电机模块、内调节框架、外调节框架及端部支承锁紧机构组成,电动式磁悬浮驱动电机模块通过轴和支承锁紧机构与内调节框架连接,内调节...
朱煜张鸣怀周玉陈安林杨开明成荣李鑫王磊杰
文献传递
基于堰塞坝负反馈与剩余能量的泥石流危险度评估
河流下切是青藏高原边缘地质灾害频发的重要原因之一。位于高原东缘的怒江历史上下切严重,泥石流、滑坡、崩塌在怒江峡谷区密集分布。其中,泥石流灾害频繁发生、输移距离长,常给人们的生命、财产带来严重损失,为了减轻泥石流暴发所带来...
李鑫
关键词:泥石流危险度评估堰塞坝
水热处理BaTiO3制备金红石TiO2及其光催化性能研究
本研究将钛酸钡粉末溶于硝酸中,并进一步水热处理,制备得金红石型TiO。通过研究水热处理过程中的硝酸浓度,处理时间以及水热温度对所得产物晶相的影响,发现硝酸浓度是决定产物晶相的主要因素,高浓度硝酸有助于得到纯净的金红石相。...
刘林华林红李鑫李建保
文献传递
基于模态力约束的平面电机振动抑制研究被引量:2
2015年
随着轻量化设计的需求,磁悬浮平面电机结构质量与柔性之间矛盾凸显,使得低阶模态引起的振动将严重制约其纳米精度的生成及控制系统稳定性。目前,振动抑制研究中的控制算法较为复杂,难以有效应用于工程实际。针对此问题,该文提出基于模态力约束的振动抑制方法。该方法针对垂向电机推力分配策略,在受力方程的基础上,以模态力之和等于0作为约束,利用力分配特解使各垂向电机的模态贡献相互抵消,从物理本质层面解决柔性振动问题。针对平面电机第一阶模态,采用模态力约束方法后,辨识模型在该阶模态处表现出刚体特性,且垂向z的定位误差减小至5 nm,验证了该方法对振动抑制的有效性。
李鑫杨开明朱煜张鸣
关键词:平面电机
纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用
朱煜张鸣杨开明胡金春成荣李鑫胡楚雄尹文生徐登峰穆海华王磊杰张利胡海张永刚李晓通
集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。中国集成电路产业发展严重受制于集成电路制造装备,尤其是技术难度最高、最核心的装备-光刻机。工件台作为光刻机最核心的子系统,为...
关键词:
关键词:光刻机集成电路
一种五自由度外差光栅干涉测量系统
本发明为一种五自由度外差光栅干涉测量系统,包括单频激光器、声光调制器,单频激光器出射单频激光,所述单频激光经光纤耦合、分束后入射至声光调制器得到两路不同频率的线偏振光,一路作为参考光,一路作为测量光;干涉仪镜组和测量光栅...
朱煜张鸣王磊杰叶伟楠杨富中夏一洲李鑫
一种平面电机运动控制方法、装置及系统
本发明公开一种平面电机运动控制方法、装置及系统,方法包括:发送运动指令给控制模块,控制模块控制平面电机运动;获取动子的位置的测量数据,将运动指令与测量数据比较得到位置误差e,对测量数据差分得到速度v、加速度a、jerk、...
杨开明朱煜鲁森雷声成荣李鑫刘涛
文献传递
一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置
一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置,该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中,初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动;当两工件台运动...
杨开明朱煜张鸣成荣李鑫穆海华余东东胡金春尹文生季国锋蒋毅
文献传递
降低细胞剪切损伤的细胞凝胶制剂以及降低细胞剪切损伤的方法
本发明涉及一种细胞凝胶制剂,其用于通过关节内注射来治疗和/或预防急性或慢性骨关节炎和/或症状,所述细胞凝胶制剂包含负载间充质干细胞的核酸水凝胶;使用所述细胞凝胶制剂治疗或预防急性和慢性骨关节病以及炎性来源的相关症状(尤其...
刘冬生余家阔杨勃颜昕李宇杰周碧妮李鑫
一种复合碘基凝胶电解质及其制备方法
本发明涉及一种复合碘基凝胶电解质及其制备方法,属于电解质材料制备技术领域。其特征在于:所述的复合碘基电解质由层状磷酸锆、离子液体、碘、碘化物、四特丁基吡啶等组成,其制备方法是将各种柱撑层间距的层状磷酸锆粉末、离子液体、有...
林红王宁李建保李鑫林春富
文献传递
共13页<12345678910>
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