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程永生

作品数：18 被引量：2H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
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唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 微加速度计 石英 结构层
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赵兴海
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：激光诱导损伤 激光点火 激光损伤 ZEMAX 激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 易加工 超快激光 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李寅鑫
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：GAAS光导开关 永磁体 光导开关 耐压 击穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 键合 超快激光 悬臂梁 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 加速度计 微机械陀螺 微开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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