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闫兰琴
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 电子束 表面增强拉曼 光刻胶 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐丽华
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光刻胶 高密度等离子体 旋涂 硅片表面 刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董凤良
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光学读出 非制冷红外成像 偏振片 焦平面阵列 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志伟
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:高密度等离子体 气相沉积 膜材料 不均匀性 反应气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
褚卫国
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 高密度等离子体 锂离子电池正极材料 气相沉积 锂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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