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杨勋

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 2个微细加工技术

地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张啸
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：搭载 场效应管 高分辨成像 单轴拉伸 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴鹏飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 湿法腐蚀 生物传感器 半导体工艺 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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