2024年8月22日
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董燕
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供职机构:
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
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合作作者
蔡文涛
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
周维超
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
吴鹏
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
谭艾英
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
孙秀辉
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
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蔡文涛
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:曝光机 光源 波前 衍射效率 发散角
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孙秀辉
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:曝光机 微透镜阵列 自由曲面 光学设计 激光光学
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尹韶云
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:透镜 曝光机 光学设计 微透镜阵列 起偏器
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谭艾英
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:曝光机 LED 光照 光斑 基板
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周维超
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:高均匀度 发散角 汞灯 均匀度 曝光机
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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吴鹏
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:聚酰亚胺 曝光机 汞灯 衍射透镜 光学设计
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