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魏珂

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 3个机械工程
  • 3个电子电信
  • 3个理学
  • 1个化学工程
  • 1个一般工业技术

主题

  • 3个图像
  • 3个孔径
  • 3个分辨率
  • 3个高分辨率
  • 3个高能
  • 3个编码器
  • 3个X光图像
  • 2个电压
  • 2个电子束
  • 2个电子束曝光
  • 2个镀膜
  • 2个多功能机
  • 2个四合一
  • 2个隧道
  • 2个隧道偏压
  • 2个偏压
  • 2个脉冲电压
  • 2个刻蚀
  • 1个电路
  • 1个电路工艺

机构

  • 3个中国科学院微...
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院微...
  • 1个合肥国家同步...

传媒

  • 3个第十一届全国...
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个真空科学与技...
  • 1个功能高分子学...
  • 1个Journa...
  • 1个真空科学与技...
  • 1个第六届全国电...

地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
田如江
供职机构：中国科学院
研究主题：光刻 加工技术进展 电子束曝光 X光图像 SIR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩阶平
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 光敏聚酰亚胺 集成电路 聚酰亚胺 磁路结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘辉
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：X光图像 编码器 高能 高分辨率 孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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