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韩阶平

作品数：19 被引量：33H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术化学工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 5篇专利
  • 3篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 10篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 9篇光刻
  • 5篇电路
  • 5篇亚胺
  • 5篇酰亚胺
  • 5篇聚酰亚胺
  • 5篇集成电路
  • 4篇光敏聚酰亚胺
  • 3篇离子束
  • 3篇刻蚀
  • 3篇角铁
  • 3篇工艺用
  • 3篇干法
  • 3篇磁控
  • 3篇磁路结构
  • 2篇微米
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇粒子束
  • 2篇鼓泡
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇光刻胶

机构

  • 16篇中国科学院微...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇合肥国家同步...
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 19篇韩阶平
  • 5篇侯豪情
  • 4篇田如江
  • 3篇陈梦真
  • 3篇李秀琼
  • 2篇刘辉
  • 2篇梁俊厚
  • 1篇刘辉
  • 1篇李悦生
  • 1篇赵豪
  • 1篇丁孟贤
  • 1篇海潮和
  • 1篇刘训春
  • 1篇魏珂
  • 1篇刘辉
  • 1篇魏珂

传媒

  • 3篇Journa...
  • 2篇仪器仪表学报
  • 2篇真空科学与技...
  • 2篇真空科学与技...
  • 2篇第十一届全国...
  • 1篇功能高分子学...
  • 1篇第六届全国电...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2000
  • 2篇1999
  • 1篇1998
  • 4篇1996
  • 1篇1994
  • 2篇1992
  • 5篇1991
  • 1篇1990
  • 1篇1989
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
束致变蚀方法
本发明涉及半导体芯片二氧化硅表面束致变蚀方法。本发明包括使用一种或两种粒子束诸如离子束、电子束和等离子束对二氧化硅表面进行选择轰击，使二氧化硅表面的腐蚀特性发生明显变化；在该选择轰击的二氧化硅表面上涂一层催化剂组合物层；...
韩阶平王守武王培大杜甲丽李秀琼陈梦真刘辉徐卫东
文献传递
用于高分辨率的高能X光图像的编码器孔径板的研制
魏珂韩阶平田如江刘辉
关键词：高分辨率高能X光图像
文献传递网络资源链接
磁场对反应离子刻蚀速率影响的研究
1989年
本文用自制的磁控反应离子刻蚀设备研究了磁场对反应离子刻蚀速率的影响.实验结果表明,磁场的引入使反应离子刻蚀速率明显提高.与不加磁场相比,加磁场后刻蚀速率可提高6-10倍.
金钟元韩阶平马俊如
关键词：磁场反应离子刻蚀集成电路
利用束致变蚀进行微细图形加工
1991年
本文介绍了束致变蚀技术在国际上的发展历史和现状,对离子束增蚀/抗蚀现象及有关机理进行了阐述。并对此新工艺进行了综合评价与前景展望。
杜甲丽韩阶平
关键词：光刻工艺抗蚀半导体材料半导体集成电路聚焦离子束掩膜
干法工艺用的大面积均匀可调永磁磁路结构
本发明涉及千法工艺用的大面积均匀可调永磁磁路结构。本发明提供一种磁控反应离刻蚀机上施加磁场的永磁磁路结构，该永磁磁路结构设于反应室内直接构成磁场，由一对包括许多永磁磁铁单元的极板，一个软铁回路以及角铁组成。通过调整可使硅...
罗澎金钟元韩阶平马俊如
文献传递
远紫外无显影光刻的催化剂及工艺探讨
1990年
我们研制成了一种新型催化剂,它是由普通小分子有机化合物(如甲基紫等)和CMPS树脂。一起溶解在一定的溶剂中配制而成。用此催化剂做了远紫外曝光的各种腐蚀特性的实验,获得了满意的结果。
韩阶平侯豪情
关键词：光刻催化剂
干法工艺用的大面积均匀可调永磁磁路结构
本发明涉及干法工艺用的大面积均匀可调永磁磁路结构。本发明提供一种磁控反应离刻蚀机上施加磁场的永磁磁路结构，该永磁磁路结构设于反应室内直接构成磁场，由一对包括许多永磁磁铁单元的极板，一个软铁回路以及角铁组成。通过调整可使硅...
罗澎金钟元韩阶平马俊如
SIRP-1型四合一多功能机及工艺研究
韩阶平魏珂田如江刘辉
关键词：多功能机光刻镀膜
文献传递网络资源链接
适用于剥离工艺的光刻胶图形的制作技术及其机理讨论被引量：20
1994年
研究了AZ－1350胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术，并对一些机理性问题进行了讨论。
韩阶平侯豪情邵逸凯
关键词：光刻胶集成电路光刻
束致变蚀技术
本发明涉及半导体芯片二氧化硅表面束致变蚀技术。本发明包括使用一种或两种粒子束诸如离子束、电子束和等离子束对二氧化硅表面进行选择轰击，使二氧化硅表面的腐蚀特性发生明显变化；在该选择轰击的二氧化硅表面上涂一层催化剂混合物层；...
韩阶平王守武王培大杜甲丽李秀琼陈梦真刘辉徐卫东
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