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齐晓慧

作品数：3 被引量：11H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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  • 3个四川省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
魏全忠
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学系统 光刻物镜 投影光刻物镜 亚微米 成象
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马天梦
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学系统 光学镜头 光轴 调焦 移动靶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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