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龙睿芬

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合作作者

领域

  • 1个自动化与计算...
  • 1个文化科学

主题

  • 5个进气
  • 3个导轨
  • 3个灯组
  • 3个排气
  • 3个排气法
  • 3个气体
  • 3个轴承
  • 3个外延层
  • 3个流体
  • 3个螺钉
  • 3个螺柱
  • 3个密封
  • 3个密封圈
  • 3个接口
  • 3个接口连接
  • 3个进气管
  • 3个晶体
  • 3个可调节
  • 3个加热功率
  • 3个关节轴承

机构

  • 5个北京七星华创...

地区

  • 5个北京市
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李一吾
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：固定螺钉 接口连接 接口 螺柱 流体
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苏艳波
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：吹扫 分配网络 气体 瓶体 薄膜沉积技术
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兰云峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体 卡紧 自定位 瓶体 锐角
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魏景峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体 晶片 硅片 滑移 立式
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刘东
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 化学吸附 温度梯度 前驱物 真空系统
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