2025年1月15日
星期三
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沈丽娜
作品数:
27
被引量:23
H指数:3
供职机构:
新疆师范大学物理与电子工程学院
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国家自然科学基金
新疆维吾尔自治区自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
王向朝
中国科学院大学
闫观勇
中芯国际集成电路制造有限公司
李思坤
中国科学院大学
张恒
中国科学院大学
王先明
新疆师范大学物理与电子工程学院
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闫观勇
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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李思坤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
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张恒
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
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王先明
供职机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题:团簇 密度泛函理论研究 N 量子相干控制 量子光学
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张泽霞
供职机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题:分子 几何构型 中分子 振动频率 催化活性
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秦晨
供职机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题:中分子 振动频率 分子 几何构型 简谐振动
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李军
供职机构:华南师范大学
研究主题:成像 图像 压缩感知 全息图 成像方法
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刘晓雷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:极紫外光刻 掩模 多层膜 仿真方法 紫外光刻
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常鸿森
供职机构:华南师范大学物理与电信工程学院
研究主题:MATLAB DOA 智能天线 极光 图像复原
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