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冯翠月

作品数:5 被引量:5H指数:2
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院更多>>
发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项河北省教育厅科研基金河北省自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺更多>>

领域

  • 4个电子电信
  • 3个金属学及工艺
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  • 2个一般工业技术
  • 2个文化科学
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  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程

主题

  • 4个电偶
  • 4个电偶腐蚀
  • 4个抛光
  • 4个抛光液
  • 4个去除速率
  • 3个电路
  • 2个大学生
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个单晶硅片
  • 2个单因素
  • 2个低K材料
  • 2个低K介质
  • 2个低K介质材料
  • 2个底片
  • 2个电池
  • 2个电化学
  • 2个电极
  • 2个电器件
  • 2个电位差

机构

  • 4个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个天津市自然科...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个国家中长期科...
  • 4个河北省自然科...
  • 3个河北省教育厅...
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  • 1个国家科技型中...
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  • 1个博士后科研启...
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传媒

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  • 3个微电子学
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  • 2个半导体技术
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  • 2个功能材料
  • 2个稀有金属
  • 2个中国表面工程
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  • 2个微细加工技术
  • 2个纳米技术与精...
  • 1个教育与职业
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  • 1个光电子.激光
  • 1个技术与市场
  • 1个电镀与精饰
  • 1个半导体情报

地区

  • 2个天津市
  • 2个河北省
4 条 记 录,以下是 1-4
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张文倩
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马欣
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:碱性抛光液 化学机械抛光 CMP 铝栅 H2O2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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