2025年3月13日
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王冬梅
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东北微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈东石
东北微电子研究所
路海林
东北微电子研究所
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路海林
供职机构:东北微电子研究所
研究主题:超大规模集成电路 光刻胶 SEM 集成电路 绝缘介质
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陈东石
供职机构:中国电子科技集团
研究主题:超大规模集成电路 PE 光刻胶 光刻机 N-
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