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张国炳
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
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武国英
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 硅 SOI 陀螺 微机电系统
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徐立
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 集成电路 SOI 自对准硅化物 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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