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李晶

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
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田原
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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