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李晶
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2
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H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
田原
中国电子科技集团公司第四十六研...
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田原
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
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