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刘长宇
作品数:
6
被引量:29
H指数:4
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
天津市自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙鸣
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘博
河北工业大学信息工程学院微电子...
贾英茜
河北工业大学信息工程学院微电子...
武晓玲
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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刘博
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 ULSI 铜布线 抛光液 压强差
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贾英茜
供职机构:石家庄学院
研究主题:化学机械抛光 抛光液 钨 MEMS CMP
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武晓玲
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 铌酸锂 抛光速率 CMP
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王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
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康静业
供职机构:河北工业大学
研究主题:波纹度 硅溶胶 碱性抛光液 化学机械抛光 纳米SIO2
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张伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
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刘承霖
供职机构:河北工业大学
研究主题:硅溶胶 粗糙度 INSB 锑 化学机械抛光
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