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杨晴
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1
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供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国工程物理研究院科学技术发展基金
中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
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合作作者
屈明山
中国工程物理研究院电子工程研究...
袁明权
中国工程物理研究院电子工程研究...
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
张茜梅
中国工程物理研究院电子工程研究...
高杨
中国工程物理研究院电子工程研究...
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
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赵兴海
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:激光诱导损伤 激光点火 激光损伤 ZEMAX 激光
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单光存
供职机构:香港城市大学
研究主题:波导滤波器 MEMS 太赫兹 蛋白质折叠 光谱学
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袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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杨波
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:壳体 电路组件 引信 插座 插头
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吴嘉丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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谭刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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屈明山
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 微电子机械系统 微机电系统 加速度计 折叠波导
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