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陈哲

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供职机构:北京大学更多>>
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国炳
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
纪明
供职机构:北京大学
研究主题:SIC 控制技术 离子注入 退火 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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