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唐路路

作品数：4 被引量：93H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程更多>>

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱江平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何渝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 数字微镜 工件台 衍射 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张启灿
供职机构：四川大学
研究主题：三维面形测量 相移 相位展开 傅里叶变换轮廓术 条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐峰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 掩模 反馈控制 硅片 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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