您的位置： 专家智库 > >

袁琼雁

作品数：15 被引量：57H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 10个电子电信
  • 9个机械工程
  • 7个理学
  • 6个自动化与计算...
  • 4个金属学及工艺
  • 3个医药卫生
  • 2个化学工程
  • 2个电气工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个交通运输工程
  • 2个一般工业技术
  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个建筑科学
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个农业科学
  • 1个政治法律

主题

  • 10个投影物镜
  • 10个物镜
  • 10个光刻
  • 10个光刻机
  • 9个像差
  • 8个对称型
  • 8个掩模
  • 8个相移掩模
  • 8个波像差
  • 7个投影光刻
  • 7个光学
  • 7个光栅
  • 6个衍射
  • 6个照明
  • 5个移相
  • 5个照明方式
  • 4个噪声
  • 4个时域有限
  • 4个时域有限差分
  • 4个时域有限差分...

机构

  • 9个中国科学院上...
  • 7个中国科学院研...
  • 2个中国科学院大...
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个华中科技大学
  • 1个吉林大学
  • 1个中国科学院

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个国家高技术研...
  • 2个国家重点基础...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个教育部“新世...
  • 1个教育部高等学...
  • 1个上海市“科技...
  • 1个上海市基础研...
  • 1个上海市科委国...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 8个光学学报
  • 4个第十三届全国...
  • 3个激光与光电子...
  • 3个中国激光
  • 2个光电子．激光
  • 2个物理学报
  • 2个光子学报
  • 1个红外与激光工...
  • 1个量子电子学报
  • 1个振动工程学报
  • 1个光学精密工程
  • 1个半导体技术
  • 1个电子测量技术
  • 1个机械工程学报
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个计量学报
  • 1个物理
  • 1个光学技术
  • 1个中国机械工程
  • 1个中国医疗器械...

地区

  • 8个上海市
  • 1个湖北省
  • 1个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邱自成
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 移相 像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹宇婷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：掩模 光刻机 像差 投影物镜 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渤帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 半导体激光 干涉仪 测量方法 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄炳杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：析图 层析成像方法 正弦相位调制 参考光 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毕群玉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：晶体 达曼光栅 对称型 啁啾脉冲 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李小平
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施伟杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0