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曹哲

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个一般工业技术
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  • 1个哲学宗教
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  • 1个电气工程
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  • 1个建筑科学
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  • 1个文化科学

主题

  • 4个速率
  • 4个铜布线
  • 4个抛光速率
  • 3个单因素
  • 3个碟形
  • 3个多胺
  • 3个选择性
  • 3个盐酸胍
  • 2个低K材料
  • 2个低K介质
  • 2个低K介质材料
  • 2个低压
  • 2个电化学
  • 2个电化学过程
  • 2个电极
  • 2个电路
  • 2个电偶
  • 2个电偶腐蚀
  • 2个电位
  • 2个电位差

机构

  • 4个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民政治...

资助

  • 4个国家中长期科...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个河北省自然科...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个天津市自然科...
  • 2个河北省高等学...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个河北省教育厅...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个新疆维吾尔自...
  • 1个博士后科研启...
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  • 1个国家教育部博...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省科技计...
  • 1个河北省科技厅...
  • 1个教育部重点实...
  • 1个天津市重大科...
  • 1个天津市重点学...
  • 1个中国工程物理...

传媒

  • 4个微纳电子技术
  • 3个半导体技术
  • 3个功能材料
  • 2个电镀与涂饰
  • 2个稀有金属
  • 2个人工晶体学报
  • 2个河北工业大学...
  • 2个微电子学
  • 1个教育与职业
  • 1个粉末冶金技术
  • 1个光电子．激光
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个技术与市场
  • 1个电镀与精饰
  • 1个天津科技
  • 1个半导体情报
  • 1个Journa...
  • 1个电子工艺技术
  • 1个粘接
  • 1个精密制造与自...

地区

  • 4个天津市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
蔡婷
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海龙
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP HCL 钽 盐酸胍 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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