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张忠惠

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：北京市科委基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个机械工程
  • 3个电气工程
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  • 2个一般工业技术
  • 2个文化科学
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个交通运输工程

主题

  • 4个氮氧化硅
  • 4个低驱动电压
  • 4个低应力
  • 4个氧化硅
  • 4个射频
  • 4个射频微机电系...
  • 2个氮化
  • 2个氮化硅
  • 2个导体
  • 2个等离子体
  • 2个等离子体刻蚀
  • 2个等效电感
  • 2个电镀
  • 2个电感
  • 2个电感值
  • 2个电荷
  • 2个电极
  • 2个电流
  • 2个电路
  • 2个电路技术

机构

  • 4个清华大学
  • 1个东南大学
  • 1个南京电子器件...
  • 1个中国科学院
  • 1个中北大学

资助

  • 4个北京市科委基...
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  • 4个国家自然科学...
  • 4个北京市科委项...
  • 3个国家重点基础...
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  • 2个国家教育部“...
  • 1个国家高技术研...
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传媒

  • 4个光学精密工程
  • 4个清华大学学报...
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  • 4个微细加工技术
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  • 2个压电与声光
  • 2个电子科技导报
  • 2个微纳电子技术
  • 2个中国集成电路
  • 2个2005(第...

地区

  • 3个北京市
  • 1个江苏省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
侯智昊
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：RF_MEMS开关 MEMS开关 毫米波 开关 射频微机电系统开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡光伟
供职机构：清华大学
研究主题：接触式开关 RF_MEMS开关 MEMS开关 机械可靠性 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘泽文
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志坚
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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