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李凡星

作品数：34 被引量：18H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：四川省科技计划项目国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 2个电子技术应用

地区

  • 18个四川省
  • 1个吉林省
共 19 条 记 录，以下是 1-10
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 传感器 成像 光栅尺 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓钦元
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王健
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：激光跟踪仪 工件台 测头 测量问题 光学元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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