2024年8月28日
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郑伟艳
作品数:
8
被引量:36
H指数:4
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
王辰伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
尹康达
河北工业大学信息工程学院微电子...
岳红维
河北工业大学信息工程学院微电子...
魏文浩
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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尹康达
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:碱性抛光液 CMP 化学机械平坦化 选择性 碱性
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岳红维
供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所
研究主题:化学机械平坦化 CMP 铜布线 铜 测试仪器
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魏文浩
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:碱性 抛光液 选择性 阻挡层 碟形
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齐景爱
供职机构:河北工业大学
研究主题:大学生 静电 教育 中国优秀传统文化 荣辱观
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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曹冠龙
供职机构:河北工业大学
研究主题:丙酮 气敏传感器 气敏元件 退火温度 气敏
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串利伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械平坦化 铜布线 CMP 碱性 速率
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高金雍
供职机构:河北工业大学
研究主题:丙酮 气敏传感器 TIO2薄膜 静电 微小型
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