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刘刚

作品数:58 被引量:191H指数:8
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 53个机械工程
  • 51个电子电信
  • 50个理学
  • 33个自动化与计算...
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  • 28个核科学技术
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  • 6个环境科学与工...

主题

  • 36个光刻
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  • 31个X射线
  • 26个英文
  • 26个光学
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  • 17个光刻胶
  • 17个LIGA
  • 16个高宽比
  • 15个半导体

机构

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  • 4个同济大学
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  • 2个浙江大学
  • 2个中国科学院上...
  • 2个中国林业科学...
  • 2个国家林业局
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  • 2个中国林科院
  • 2个中国林业科学...
  • 2个中国科学院微...

资助

  • 54个国家自然科学...
  • 22个国家高技术研...
  • 22个国家重点基础...
  • 13个国家教育部博...
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传媒

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  • 15个物理
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  • 6个化学学报

地区

  • 41个安徽省
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  • 2个陕西省
  • 1个吉林省
  • 1个四川省
  • 1个天津市
63 条 记 录,以下是 1-10
田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊瑛
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:水体 大高宽比 光刻胶 微流控芯片 旋涂
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张鹏
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:控制装置 偏振片 碳纳米管 顺排 红外传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阚娅
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳龙华
供职机构:中国电子科技集团公司第三十八研究所
研究主题:波带片 物料 薄膜电路 组件 连接器
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陈洁
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:波带片 高分辨率 衍射效率 空间分辨率 CT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田学红
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:菲涅耳衍射 计算机模拟研究 计算机模拟 接近式光刻 SU-8
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张新夷
供职机构:复旦大学物理教学实验中心
研究主题:砷化镓 GAAS 软X射线 XAFS 光电子能谱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭育华
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱学林
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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