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刘刚
作品数:
58
被引量:191
H指数:8
供职机构:
中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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自动化与计算机技术
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合作作者
田扬超
中国科学技术大学核科学技术学院...
熊瑛
中国科学技术大学核科学技术学院...
张鹏
中国科学技术大学核科学技术学院...
阚娅
中国科学技术大学核科学技术学院...
张新夷
复旦大学同步辐射研究中心
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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熊瑛
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:水体 大高宽比 光刻胶 微流控芯片 旋涂
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张鹏
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:控制装置 偏振片 碳纳米管 顺排 红外传感器
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所获资助
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阚娅
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
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柳龙华
供职机构:中国电子科技集团公司第三十八研究所
研究主题:波带片 物料 薄膜电路 组件 连接器
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陈洁
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:波带片 高分辨率 衍射效率 空间分辨率 CT
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田学红
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:菲涅耳衍射 计算机模拟研究 计算机模拟 接近式光刻 SU-8
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张新夷
供职机构:复旦大学物理教学实验中心
研究主题:砷化镓 GAAS 软X射线 XAFS 光电子能谱
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郭育华
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
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朱学林
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
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