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刘相华

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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机构

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资助

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传媒

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地区

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陈猛
供职机构：清华大学
研究主题：SOI 注氧隔离 高温退火 低剂量 硅
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王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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陈静
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：晶体管 浮体效应 SOI 阈值电压 存储器单元
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易万兵
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI SIMOX 氧 氮 注氧隔离
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朱鸣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：浮体效应 SOI器件 固体电子学 自加热效应 SOI
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林青
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
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王湘
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 注氧隔离 键合 高温退火 离子注入
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刘忠立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI FPGA 英文 集成电路 SIMOX
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谢欣云
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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