深圳市科技计划项目(2004-K1-117)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：康光宇更多>>
- 相关机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心深圳新南亚技术开发有限公司更多>>
- 发文基金：深圳市科技计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C／DLC膜性能研究
- 将中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺结合起来制备了Cr+Ti+TiNC／TiNC+C／DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的DLC,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和C...
- 马胜歌于大洋杨宏伟张以忱
- 关键词：DLC非平衡磁控溅射电弧离子镀
- 文献传递
- 柱弧离子镀和非平衡磁控溅射镀制备Ti-N-C黑色硬质膜
- 2007年
- 采用柱弧离子镀和中频孪生靶非平衡磁控溅射镀膜技术制备了Ti-N-C多层复合黑色硬质膜。采用轮廊仪扫描电子显微镜(SEM)、分光光度计、显微硬度计等手段研究了所得膜层的各项性能。结果表明,两种工艺都可以获得颜色较深的黑色硬质膜,柱弧离子镀制备黑色硬质膜的效率高、力学性能更好;中频孪生靶非平衡磁控溅射制备的黑色硬质膜表面光滑、颜色更深。
- 马胜歌康光宇
- 关键词：非平衡磁控溅射
- 柱弧离子镀制备Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC黑色硬质膜被引量：6
- 2006年
- 利用自制的柱弧离子镀膜机,在不同硬度基体上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC多层复合膜。膜呈深黑色,反射率小于14%,亮度值L*小于43,沉积速率约为0.78μm/h,表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影响较大,基体越硬、膜层越厚,膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0.82μm的黑色硬质膜显微硬度Hv(25g)=3229,结合力为26.70 N。该设备和工艺已成功应用于工业生产。
- 马胜歌姜翠宁
- 关键词：TIC多层膜
